标题：中国EUV光刻技术取得突破性进展 近日，中国科学院上海光学精密机械研究所林楠研究员团队在EUV光刻技术领域取得重要突破。他们利用固体激光器技术研发出LPP-EUV光源，能量转换效率达3.42%，接近国际领先水平。这标志着中国在摆脱对美国技术依赖方面迈出了关键一步。 EUV光刻机的核心部件是...