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复旦大学周鹏-刘春森团队近期在《自然-电子学》杂志上发表论文《二维超快闪存的规模集成工艺》,宣布已成功研发出超快闪存集成工艺。该工艺实现了20纳秒超快速编程和10年非易失性,突破了传统闪存技术的瓶颈。研究团队通过二维半导体结构,将编程速度提升了千倍以上,达到纳秒级别。此外,团队还展示了在大规模集成下的超快特性,集成工艺性能优于国际水平。实验结果显示,该工艺在1Kb存储规模下,纳秒级非易失编程速度下的良率达到98%,远超国际半导体技术路线图对闪存制造的良率要求。研究团队采用不依赖先进光刻设备的自对准工艺,成功实现了沟道长度为8纳米的超快闪存器件,突破了硅基闪存的物理尺寸极限。这一研究成果将推动超快闪存技术的产业化应用,有望加速人工智能领域的发展。

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