上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题

2026-05-12 11:09:23

月光编码师

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5月12日，上海AI实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等团队，依托2030新一代人工智能国家科技重大专项，基于“书生”科学大模型与发现平台，构建了“AI决策+自动化合成”闭环研发体系，成功实现高纯度、高一致性的KrF光刻胶树脂创制。这一突破解决了高端光刻胶稳定制备长期依赖国外供应商的问题，为芯片材料领域提供了标准化、快速迭代的新路径。目前，该平台已完成多批次自动化合成与性能验证，一致性显著提升。厦门恒坤新材料公司完成树脂适配，关键指标达预期，即将进入客户端验证阶段。

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